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產品型號：HZD
更新時間：2025-12-16
廠商性質：工程商
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高純水與高純氣用房是電子半導體、生物醫藥等搞端制造領域的關鍵配套設施，其設計裝修需以“防污染、保純度、強安全"為核心，嚴格遵循《電子工業潔凈廠房設計規范》，確保水質電阻率≥18.2MΩ·cm（25℃），氣體純度達99.999/以上，同時滿足防爆、防泄漏等安全要求，為生產工藝提供穩定可靠的介質保障。
區域規劃需實現功能分區與污染隔離。用房應劃分儲液區、制水設備區、配管區及用氣點緩沖區，高純水用房與高純氣用房保持≥5m間距，避免氣體泄漏污染水質。地面采用防腐防滑環氧砂漿地坪，涂刷防靜電涂層，墻面選用304不銹鋼板，接縫采用激光焊接密封，吊頂采用防脫落潔凈彩鋼板，所有陰陽角做圓弧處理，減少積塵與藏污空間。門窗采用防爆鋼化玻璃與不銹鋼密閉門，氣用房需增設泄壓窗，泄壓面積≥房間體積的0.05倍。
介質系統設計是核心技術關鍵。高純水系統采用“預處理+反滲透+EDI"工藝，管路選用316L不銹鋼，采用雙卡套連接避免四體積，管道坡度≥2°確保排空車底，同時配備在線電阻率監測儀與紫外線殺菌裝置。高純氣系統采用不銹鋼BAJ管道，實施氦質譜檢漏確保泄漏率≤1×10??Pa·m3/s，設置都立的氣體匯流排與減壓裝置，配備緊急切斷閥與泄漏報警系統，氫氣等可燃氣體用房需安裝防爆排風系統，換氣次數≥12次/h。
施工與驗收需強化流程管控。管道安裝前需進行脫脂、酸洗鈍化處理，施工環境潔凈度需達萬級以上。電氣系統采用防爆型燈具與開關，線纜穿管采用密封膠封堵。施工完成后需進行管道壓力測試、水質指標檢測及氣體純度分析，高純水需通過TOC、顆粒度等專項檢測，高純氣需經氣相色譜分析達標。日常運維中，需定期更換過濾耗材、校準監測儀器，建立介質純度追溯檔案，確保系統長期穩定運行。山東凈化工程高純水與高純氣用房裝修
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